【中国有哪些光刻机上市公司】光刻机是半导体制造过程中的核心设备，其技术水平直接关系到芯片的制程工艺。近年来，随着国产替代进程加快，中国在光刻机领域逐步取得突破。尽管目前高端光刻机仍主要由荷兰ASML等国际厂商主导，但国内已有部分企业在光刻机及相关产业链上有所布局。
以下是一些涉及光刻机相关业务或技术的中国上市公司，涵盖光刻设备、关键零部件、软件系统等多个方面：
一、总结
中国光刻机相关的上市公司主要包括从事光刻设备研发、生产、销售的企业，以及为光刻机提供配套零部件或技术支持的企业。这些公司在不同细分领域中发挥着重要作用，推动了国产光刻技术的发展。
二、相关上市公司一览表
| 序号 | 公司名称 | 所属行业 | 主营业务/光刻相关业务 |
| 1 | 中微公司（SMIC） | 半导体设备 | 专注于刻蚀设备和薄膜沉积设备，间接服务于光刻工艺流程 |
| 2 | 沪电股份 | 印刷电路板 | 提供高密度互连基板，用于光刻胶和光刻工艺的后端处理 |
| 3 | 长电科技 | 半导体封装 | 虽不直接参与光刻设备制造，但与光刻工艺密切相关 |
| 4 | 深南电路 | 印刷电路板 | 提供高精度PCB产品，支持光刻工艺的应用 |
| 5 | 天通股份 | 电子材料 | 生产光刻胶、光刻设备关键部件等 |
| 6 | 精测电子 | 半导体检测 | 提供光刻后检测设备，保障光刻工艺质量 |
| 7 | 检测技术公司 | 半导体检测 | 为光刻工艺提供检测与分析服务 |
| 8 | 华虹半导体 | 半导体制造 | 虽以代工为主，但其生产线依赖光刻设备 |
| 9 | 上海微电子装备 | 光刻设备 | 国内唯一具备量产能力的光刻设备制造商，承担国家重大专项任务 |
| 10 | 晶方科技 | 芯片封装 | 与光刻工艺有交叉应用，特别是在先进封装领域 |
三、总结说明
以上公司中，上海微电子装备是唯一一家专门从事光刻设备研发和生产的中国企业，具有较高的技术含量和战略意义。其他企业多为光刻设备的配套供应商或下游应用企业，共同构建了中国光刻产业的生态体系。
尽管中国在光刻机领域仍面临一定的技术瓶颈，但随着政策扶持和技术积累，未来有望实现更大突破。投资者在关注这些企业时，应结合其技术实力、市场前景及政策导向进行综合判断。
